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公告日期:2025-05-20
公告內容:恭賀吳沛婕同學 (張煥正老師實驗室) 榮獲第四屆默克年輕科學人獎-壁報論文特優獎 (化學領域 半導體應用材料與技術)。本獎項決賽於2025年5月17日在新竹市舉行。

論文題目:Advancing EUV Beam Profiling: A Fiber-Coupled FND Detector for Semiconductor Lithography
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